基本信息
| 标准名称： | 电子级气体中痕量水分子的测定方法 目视露点法 |
| 英文名称： | Method for determination of trace water in electronic grade gases-Dew point method |
| 中标分类： | 综合 >> 标准化管理与一般规定 >> 技术管理 |
| 发布部门： | 中华人民共和国电子工业部 |
| 发布日期： | 1987-04-06 |
| 实施日期： | 1988-01-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 2010-01-20 |
| 提出单位： | 中国电子学会洁净技术学会 |
| 起草单位： | 电子工业部标准化研究所 |
| 起草人： | 尹恩华、郎文卉、于凤来、赵长春 |
| 出版社： | 电子工业出版社 |
| 出版日期： | 1988-01-01 |
| 页数： | 9页 |
适用范围
本方法适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定，测定范围0～90℃。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 综合 标准化管理与一般规定 技术管理