基本信息
| 标准名称： | 电子级气体中颗粒的测定方法 光散射法 |
| 英文名称： | Method for determination of particles in electronic grade gases-Light scattering method |
| 中标分类： | 综合 >> 标准化管理与一般规定 >> 技术管理 |
| 发布部门： | 中华人民共和国电子工业部 |
| 发布日期： | 1987-04-06 |
| 实施日期： | 1988-01-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 2010-01-20 |
| 提出单位： | 中国电子学会洁净技术学会 |
| 起草单位： | 电子工业部标准化研究所 |
| 起草人： | 周定华、杜俊英、赵长春 |
| 出版社： | 电子工业出版社 |
| 出版日期： | 1988-01-01 |
| 页数： | 7页 |
适用范围
本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩、氦中颗粒测定，也适用于普通氢、氮、氧、氩、氦及其他无腐蚀性气体中颗粒的测定。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 综合 标准化管理与一般规定 技术管理